O laboratório de Materiais da Electrónica encontra-se dividido em duas grandes áreas: produção e caracterização de materiais/dispositivos.
- Produção: nesta área o laboratório está equipado com três sistemas de pulverização catódica reactiva e estática e um sistema de spray pirólise (CVD), destinados preferencialmente à produção de óxidos semicondutores, tais como óxidos de zinco, estanho, índio e zircónio dopados e intrínsecos. Os sistemas permitem depositar em grandes superfícies, que podem ir até aos 30 cm × 40 cm, sobre qualquer tipo de substrato. Para além destes sistemas, possui dois protótipos semi-industriais para a produção de dispositivos baseados na tecnologia do silício amorfo hidrogenado por PECVD. Finalmente, possui um sistema de evaporação térmica assistida por canhão de electrões para a produção de películas finas metálicas. De forma a se poderem testar os dispositivos produzidos o laboratório está equipado com dois sistemas para microsoldadura a fio de alumínio e ouro. Toda esta área tem a operar um sistema de corte a laser de duplo feixe, para desenho de máscaras em filmes finos, com resoluções até 20 mm e um laminador, para encapsulamento de dispositivos.
Em termos de processamento de materiais este laboratório tem uma infraestrutura de microelectrónica semi-industrial equipada com os seguintes equipamentos (principais): 6 fornos de difusão incluindo LPCVD; sistema de erosão seca (dry-etching); dois spinners (para aplicação de fotoresiste positivo e negativo); um alinhador de máscaras semi-automático; sistemas de limpeza por ultra-sons e máquina de lavar; muflas para secagem.
- Caracterização: o laboratório encontra-se equipado com uma vasta gama de técnicas:
- espectroscopias de infravermelho, visível e ultravioleta;
- resposta espectral;
- PDS e CPM;
- elipsometria espectroscópica e convencional;
- criostatos para medidas eléctricas e ópticas em temperatura;
- efeito de Hall;
- sistema de quatro pontas para medição da resistência folha (dois);
- perfilómetros (Sloan Dektak);
- câmara de teste de sensores de gases;
- muflas e estufas várias;
- sistema de DLTS;
- analisador da característica CV;
- medidas transientes;
- analisador de características funcionais de dispositivos, equipado com microprovador.
Este laboratório dá apoio aos alunos de Projecto assim como à maioria das disciplinas sob a responsabilidade da secção de Materiais Semicondutores.
